超声波外圆涂铟机的应用

内圈涂铟

超声波外圆涂铟机的核心价值在于它能将金属铟,通过超声高频振动(20~28KHz),在圆柱形金属管壁(背管)表面进行涂覆上铟,从而实现均匀、超薄的涂层;是铟、锡类ITO“靶材”制造的专用设备。

一、涂铟机结构:

涂铟机的基本构成:由FUNSONIC超声波发生器和超声波涂铟主机、高频连接线组成。超声波涂铟主机:包括超声波换能器(带外壳)+变幅杆+工具头等。根据靶材附着背材形状规格的不同,工具头的工作端面形状适配有:平面、内孔、外圆。 详见https://www.qybz.org.cn/   企业标准Q/FSN 03-2025

二、机理

靶材作为磁控溅射镀膜行业的功能性原材料。本文阐述的是:使用圆柱形旋转靶材,通常采用不锈钢或钛的背管作为基材,在其表面(或内壁)涂覆金属铟,实现粘附绑定。使用超声波涂铟工艺技术及专用工具头,是制造铟靶材的一种特殊手段,其不同于Cu、Al、Mo等金属靶材的制造工艺,它能够将附着性和延展性好、低熔点的铟金属作为靶材与背管在预热至175-185℃条件下,用超声波工具头沿外壁顺势做压整处理;铟层厚度为0.02~0.03mm/次,使液态铟粘结在背管的表面,且形成具有一定的导电性、导热性和粘合强度的,符合溅射镀膜工程所需的功能性材料。

三、应用

 超声波外圆涂铟机是现代物理气相沉积(PVD)溅射镀膜产业链中,靶材制造环节不可或缺的关键设备。它直接服务于下游的平板显示、半导体、光伏、数据存储等高新技术产业,是这些行业实现材料国产化、提升产品性能和质量稳定性的重要技术支撑。随着智能手机、平板电脑等各类移动设备及智能家居智能、AI人工智能等新兴领域的兴起,ITO靶材的需求量也在与日剧增。

国内相关的高端镀膜加工行业有:显示面板行业ITO靶材(专项技术已应用于国内先进制造业)、半导体集成电路与先进封装、光伏太阳能电池行业:TCO靶材。

四、优势

与传统的涂铟方法(如手工涂抹、电镀、热浸镀等)相比,超声波外圆涂铟机在精度、可靠性和效率上实现了质的飞跃。其优势主要体现在以下几个方面:

1.涂层均匀致密,质量极高:利用超声波的高频振动能量,使铟发生“塑性流动”,并在一瞬间与基体金属表面发生“冶金结合”。这个过程可以形成连续、无孔、均匀致密的铟涂层。

2.结合强度高,不易剥落:超声波能量在铟与基体(如不锈钢、铝合金)的界面处产生剧烈的塑性变形和微观摩擦,清洁表面的同时,使两种金属的原子相互扩散,形成一层极薄的金属键合层。

3.无焊剂、无污染,清洁环保:整个过程是固态下的物理结合,完全不需要任何助焊剂或化学溶剂。这不仅杜绝了因助焊剂残留导致的污染问题,也使得涂铟后的工件非常洁净,无需复杂的后清洗工序,特别适合对洁净度要求极高的行业。

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